• 電源装置

直流電源装置

品名	直流電源装置
内容	半導体装置設備用静電チャック電源
仕様	入力：DC24V 出力：DC0V～±2000V　2mA　2回路出力
外形	幅：60　高さ：300　奥行：340（mm）

• 電源装置

直流電源装置

関連記事

1. 

   マルチ電源装置

2. 

   直流電源装置